真空爐的真空系統結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵，真空系統的結構合理與否，將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。如何解決真空爐的的漏氣問題是大家都比較關心的問題。

研博爐業通過從真空爐爐體設計、密封類型、密封材料、密封結構等方面入手以使真空爐達到更高的真空爐更小的漏氣率。首先就是盡可能地避免出現小曲率半徑的死角。其次抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，都利用圓弧過渡，使氣路暢通無阻。真空室內各種連接件的結構都經過精密設計，使氣路暢通，避免氣路堵塞。表面越光亮就越不易氣體吸附，為了更好的獲得真空度真空系統內表面都經過打磨拋光。最好以下三個方面的選擇可解決真空爐的漏氣難題

一、密封類型的選擇

真空爐密封類型可根據用戶所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封類型，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需利用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則利用“0”型密封圈密封類型，直徑壓縮比為25％。

二、密封件材質的選用

真空爐真空度在lO-3Pa以下的真空系統，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足需求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度最高可達2300oC，密封部位進行水冷后，其溫度在80oC左右，個別處溫度可達100oC以上)。因此，要選擇比較理想的密封圈材料。用于真空密封橡膠材料，除需求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還需求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。

三、密封結構的選擇：

真空爐的真空系統中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，真空爐設備的密封結構都進行認真設計，以達到理想的效果。對密封結構的設計，重點考慮如何選擇重點密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發揮橡膠密封圈功能等方面。

以上就是研博爐業總結的真空爐漏氣問題的解決方案，防患于未然是最好的解決問題的方案，在真空爐工作過程中再出現漏氣現象就不是小問題了，甚至給用戶帶來重大損失。所以用戶選擇真空爐設備時一定要選擇可靠的廠家，從源頭上杜絕問題，才是明智的選擇。